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液態氬氣 合成氨尾氣提氬有低溫精餾法和冷凝蒸發法，典型流程有三塔提氬流程和兩塔提氬流程及帶熱泵循環提氬裝置三種，其生產工藝包括液態氬氣原料氣凈化、脫氫、脫甲烷和脫氮四步工序。